[SEMICON Japón 2022] Unidad de calentamiento de plano de vacío – Himeji Rika Co., Ltd.

Esta vez, me gustaría presentarles esta unidad de calentamiento por vacío.
Aquí, 15 calefactores halógenos pueden controlarse de forma independiente uno por uno, y este puede calentarse de manera uniforme al hacer un vacío.

Se dice que aquí se solicitó una patente, pero una de las características es que el cable conductor está fuera de la cámara.

Entonces, cuando usa esto, la función es que puede calentar las cosas de manera uniforme.